臺(tái)式電鏡主要用于各類微觀樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速檢測(cè)以及其元素成份分析,具有高低真空成像模式??蓪?duì)金屬和其他導(dǎo)體以及作導(dǎo)電噴涂處理后的樣品采用高真空模式成像。對(duì)未經(jīng)導(dǎo)電噴鍍處理的非導(dǎo)電樣品可進(jìn)行原始狀態(tài)下的觀察,并保持樣品的原始形貌,得到真正的表面形貌。對(duì)含水量較高的樣品,可以在冷凍輔助下觀測(cè)形貌。配備能譜分析,可以對(duì)微區(qū)元素定性定量分析。配備離子濺射儀,可滿足無(wú)導(dǎo)電物質(zhì)噴濺需求。
臺(tái)式電鏡的制樣流程分析:
一、觀察形貌的塊狀樣品制備
清洗(干燥→吹掉浮粉)→固定→導(dǎo)電處理。
二、能譜分析的塊狀樣品制備
切割→鑲嵌→打磨拋光→腐蝕→清洗→固定→導(dǎo)電處理。
三、粉末樣品制備
1.對(duì)于小顆粒(<100nm)
分散(取少量粉末于溶液中)→超聲分散→滴樣(取少量樣品滴于導(dǎo)電平滑襯底上,如Si片)→烘干→(導(dǎo)電處理)。
2.對(duì)于大顆粒(1um)
分散(取少量粉末撒于碳膠或銅膠表面)→吹掉多余→(導(dǎo)電處理)。
四、注意事項(xiàng)
1.雙面碳膠固定牢,否則在樣品艙內(nèi)會(huì)膨脹、放氣、導(dǎo)電性不佳、高倍下有漂移現(xiàn)象;
2.同一批次測(cè)試的樣品高度盡量一致,高度相差較大的樣品要分批測(cè)試;
3.導(dǎo)電性不理想的樣品可以進(jìn)行噴金操作,噴金不要太厚,2nm即可。