臺(tái)式電鏡SEM作為一種現(xiàn)代電子顯微分析儀器,憑借其高分辨率、大景深和強(qiáng)大的綜合分析能力,在多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。無(wú)論是科學(xué)研究還是工業(yè)應(yīng)用,SEM都為我們揭示了一個(gè)肉眼無(wú)法看到的微觀世界,推動(dòng)了科技的進(jìn)步和創(chuàng)新。未來(lái),隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,其性能和應(yīng)用范圍將進(jìn)一步擴(kuò)大,為人類(lèi)探索未知領(lǐng)域提供更多可能。
臺(tái)式電鏡SEM主要由以下幾部分組成:
-電子槍?zhuān)寒a(chǎn)生具有確定能量的電子束。
-電磁透鏡:用于聚焦電子束。
-掃描系統(tǒng):控制電子束在樣品表面的掃描路徑。
-探測(cè)器:收集電子與樣品相互作用后產(chǎn)生的信號(hào)。
-熒光屏或計(jì)算機(jī)顯示器:顯示圖像。
當(dāng)高能電子束轟擊樣品表面時(shí),會(huì)產(chǎn)生各種物理信號(hào)。主要的信號(hào)包括:
-二次電子:來(lái)自樣品表面幾納米的區(qū)域,對(duì)表面形貌非常敏感。
-背散射電子:從樣品內(nèi)部反射出來(lái),反映原子序數(shù)的差異。
-特征X射線(xiàn):當(dāng)電子能量足夠高時(shí),可激發(fā)樣品原子的特征X射線(xiàn),用于定性和定量分析樣品的元素組成。
這些信號(hào)被探測(cè)器捕獲并轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào),在熒光屏或計(jì)算機(jī)顯示器上形成圖像。由于電子的波長(zhǎng)比光波短得多,SEM能夠提供比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率。
臺(tái)式電鏡SEM的應(yīng)用:
可用于觀察材料的表面形貌、晶界、缺陷等。例如,通過(guò)分析斷裂面,可以了解材料的斷裂機(jī)制和性能。
在生物學(xué)領(lǐng)域,SEM常用于觀察細(xì)胞、組織、微生物等生物樣本的微觀結(jié)構(gòu)。例如,可以研究細(xì)胞表面的特異受體分布,或分析細(xì)菌的形狀和大小。
研究納米材料結(jié)構(gòu)和性能的重要工具。它可以觀察納米顆粒的形貌、尺寸和分布,幫助科學(xué)家開(kāi)發(fā)新型納米材料。
在半導(dǎo)體行業(yè),可用于檢查芯片的表面缺陷、線(xiàn)條邊緣的粗糙度等。通過(guò)高分辨率成像,可以確保芯片的質(zhì)量和性能。
可用于分析巖石、礦物的形貌和成分,揭示地球的物質(zhì)組成和演化歷史。此外,還能用于環(huán)境污染物的檢測(cè)和分析。